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低壓擴(kuò)散石英管的這種制成工藝有什么優(yōu)勢(shì)呢?低壓擴(kuò)散的優(yōu)勢(shì):常壓擴(kuò)散爐通常采用管口或管尾進(jìn)氣,通過大氮?dú)饬鲗⒘自磶У搅硪欢?,易造成一端磷源濃度高、另一端濃度低的現(xiàn)象,而且常壓下氣體分子自由程較小,各區(qū)域硅片接觸磷源幾率差距較大,只能通過調(diào)節(jié)溫
發(fā)布時(shí)間:2020-09-16 點(diǎn)擊次數(shù):328
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可能大家對(duì)于低壓擴(kuò)散石英管并不是很了解,下面就和小編一起來探討一下什么是低壓擴(kuò)散的工藝手法。管式爐特別是臥式擴(kuò)散爐是光伏與半導(dǎo)體生產(chǎn)線前工序的重要工藝設(shè)備之一,廣泛適用于大規(guī)模集成電路、分立器件、電力電子、太陽能電池、光電器件和光導(dǎo)纖維等
發(fā)布時(shí)間:2020-05-21 點(diǎn)擊次數(shù):363
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低壓擴(kuò)散石英管一般會(huì)在管式爐中用到。管式爐特別是臥式擴(kuò)散爐是光伏與半導(dǎo)體生產(chǎn)線前工序的重要工藝設(shè)備之-,廣泛適用于大規(guī)模集成電路、分立器件、電力電子、太陽能電池、光電器件和光導(dǎo)纖維等行業(yè)的擴(kuò)散、氧化、退火、合金及燒結(jié)等工藝,可用于2-8英
發(fā)布時(shí)間:2019-11-14 點(diǎn)擊次數(shù):243